| Patent Number | CN107230734A |
| Status | 申請中 Pending |
| 一种背对背肖特基结构的BeMgZnO基紫外探测器及其制备方法 | |
| Application Number | CN201710370282.8 |
| Application Date | 2017-05-23 |
| Rights Holder | 中国人民解放军63791部队 |
| 王玉超; 苏龙兴; 蒙蒙; 刘剑锋; 赵宇; 郑锦坚; 马忠权; 汤子康 | |
| Date Available | 2017-10-03 |
| Country | 中国 China |
| Abstract | 本发明公开了一种背对背肖特基结构的BeMgZnO基紫外探测器及其制备方法。其包括衬底、生长在衬底上的缓冲层、生长在缓冲层上的BeMgZnO合金外延层和蒸镀沉积在外延层上的肖特基接触的金属接触电极层；所述缓冲层为Mg、MgO、ZnO、BeO、BeZnO或MgZnO中的一种或多种组合材料组成；金属接触电极层包括内侧的钛、镍、铂、金、银或钼单层金属或金属复合层和外侧蒸镀的金层。本发明的器件避免了p型掺杂的困难，具有暗电流低、响应速度快、响应度高、制备工艺简单、可在零偏压下工作等优点，实现了器件的响应截止波长在近紫外到深紫外连续可调；还可与半导体平面工艺相容，有利于大规模集成，具有很好的应用前景。 |
| Language | 中文Chinese |
| Open (Notice) Number | CN107230734A |
| IPC Classification Number | H01L31/108 ; H01L31/18 ; H01L31/032 |
| CPC Classification Number | H01L31/108 ; H01L31/0326 ; Y02P70/50 ; H01L31/18 |
| Patent Agent | 陈卫 |
| Agency | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 |
| Document Type | Patent |
| Collection | University of Macau |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王玉超,苏龙兴,蒙蒙,等. 一种背对背肖特基结构的BeMgZnO基紫外探测器及其制备方法. CN107230734A. |
| APA | 王玉超., 苏龙兴., 蒙蒙., 刘剑锋., 赵宇., 郑锦坚., 马忠权., & 汤子康 (2017-05-23). 一种背对背肖特基结构的BeMgZnO基紫外探测器及其制备方法. |
| Files in This Item: | There are no files associated with this item. | |||||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment